等離子清洗機(jī)用什么氣體好（等離子清洗機(jī)用哪種氣體）

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-07-04

等離子清洗機(jī)以氣體為清洗介質(zhì)而非傳統(tǒng)的液體介質(zhì)，有效避免了二次污染。那么等離子清洗機(jī)用什么氣體好呢。下面國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)廠家納恩科技的小編就為大家來(lái)介紹一下。

等離子清洗機(jī)原理

等離子清洗機(jī)的工作原理是在密閉空間以及低壓狀態(tài)下，使用直流、交流、射頻或微波等方式施加能量，將通入密閉空間的氣體離子化，由電場(chǎng)加速離子化粒子之間的撞擊產(chǎn)生等離子體。借由高能量的離子或高活性的原子，能夠?qū)⒈砻嫖廴疚镒搽x或形成揮發(fā)性氣體，以達(dá)到表面清潔的目的。不同氣體的等離子處理效果不同，當(dāng)前主要使用的氣體包括氧氣（O2）、氫氣（H2）、氬氣（Ar）等。目前文獻(xiàn)中已經(jīng)看到的等離子處理氣體包括CF4、C2F4、NH3、NO、CF4/O2、O2/He等。

等離子清洗機(jī)常見(jiàn)使用氣體的作用如下：

氧等離子：高能量的氧離子可以燒除表面的有機(jī)物，清洗速度快、效果明顯，但是可能會(huì)氧化材料。

氫等離子：以激發(fā)態(tài)自由基氫氣去除金屬表層氧化物。

氬等離子：氬離子質(zhì)量大，在電場(chǎng)加速的狀態(tài)下通過(guò)撞擊動(dòng)力濺射去除污染物，或是裂解有機(jī)物的化學(xué)鍵，形成氣體揮發(fā)，還可以去除金屬氧化膜，然而清洗效果較弱。

氨氣等離子體：氨氣處理能顯著改善表面粗糙度，提升潤(rùn)濕性，并且使材料表面含氮基團(tuán)數(shù)量增多，是等離子清洗效果最顯著的氣體之一，但是氨氣對(duì)大氣環(huán)境不友好，污氣處理給大規(guī)模工業(yè)化帶來(lái)巨大壓力。

含氟氣體：含氟氣體經(jīng)過(guò)等離子處理后,在自由基上鍵合接枝含氟官能團(tuán),從而大幅度提高材料表面疏水性能。

氬氫混合氣體：半導(dǎo)體行業(yè)常采用Ar和H2的混合氣體對(duì)引線(xiàn)框架表面進(jìn)行等離子清洗，可以有效去除表面的雜質(zhì)沾污、氧化層等，從而提高銀原子和銅原子活性，大幅提高焊線(xiàn)與引線(xiàn)框架的結(jié)合強(qiáng)度，提高產(chǎn)品良率，在實(shí)際生產(chǎn)中，等離子清洗已成為銅線(xiàn)工藝的必須工序。

另外如果想要在材料表面引入官能團(tuán)可以對(duì)材料表面用N2、NH3、O2等氣體進(jìn)行表面等離子處理，可以引入-NH2、-OH、-COOH等相應(yīng)的官能團(tuán)，特別是對(duì)高分子基板，這些官能團(tuán)可顯著提高基板的潤(rùn)濕性、可粘結(jié)性、反應(yīng)性。

目前最常見(jiàn)的等離子清洗是以氬氣和氧氣的混合氣體清洗為主，對(duì)于大都數(shù)只需要提升表面親水性或粘接性能的材料來(lái)說(shuō)，氧氣+氬氣的組合都普遍適用。從上面的各種等離子清洗機(jī)使用的氣體來(lái)看，等離子清洗機(jī)并不是用哪種氣體最好，等離子清洗工藝并不是固定的，對(duì)應(yīng)不同的材料要選擇不同的氣體，而且就算是相同的材料，如果想要達(dá)到的效果不一樣選用的氣體也不是固定的。綜上所述等離子清洗機(jī)用什么氣體好，取決于工藝。不同的工藝有適合的氣體，選擇氣體的方式可以參考上面常見(jiàn)氣體的作用。如果還是不懂等離子清洗機(jī)用哪種氣體好，可以來(lái)咨詢(xún)我們，我們有著豐富的等離子清洗經(jīng)驗(yàn)，可以為您提供一個(gè)合適的解決方案。

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