等離子清洗機(jī)氬氣和氧氣的區(qū)別？哪種好？

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-08-22

在等離子清洗過(guò)程中會(huì)使用不同的氣體來(lái)進(jìn)行清洗，其中最常見(jiàn)的兩種工藝氣體就是氬氣和氧氣了。很多不知道等離子清洗原理的人都喜歡問(wèn)，用氧氣和用氬氣有什么區(qū)別，氧氣和氬氣哪種氣體好。今天就這一個(gè)問(wèn)題，作為生產(chǎn)等離子清洗機(jī)的廠家，有責(zé)任和義務(wù)為大家解答一下這個(gè)問(wèn)題。

首先我們要了解等離子清洗機(jī)的工作原理，等離子清洗機(jī)是通過(guò)將各種氣體摻入真空室體,將室內(nèi)壓力控制在設(shè)定的范圍內(nèi),通過(guò)控制加載在真空室內(nèi)高壓極板間的電壓,將氣體電離,產(chǎn)生輝光放電,真空室內(nèi)的高能等離子轟擊工件,工件表面的分子激發(fā)、離解或電離,去除氧化物、水分和有機(jī)污物,增強(qiáng)襯底結(jié)合力。

等離子清洗機(jī)所用的氣體大致上可以分為兩種，一種是通過(guò)物理濺射來(lái)對(duì)材料表面進(jìn)行清洗，另一種是靠化學(xué)反應(yīng)來(lái)對(duì)材料表面進(jìn)行清洗。

物理性氣體等離子清洗

在真空狀態(tài)下，高頻電源的高壓交變電場(chǎng)將氬氣等惰性氣體電離成高能量的等離子氣體?；钚粤Ｗ釉谄珘鹤饔孟卤患铀佼a(chǎn)生動(dòng)能，設(shè)備射頻系統(tǒng)的下電極接地，確保所有的高能電子不能穿越電極接觸到工件表面，避免對(duì)敏感器件造成電子損傷。只有中性原子團(tuán)下電極高速轟擊工件表面，使污染物汽化，與工件剝離，隨排氣系統(tǒng)排出腔體外，產(chǎn)生清洗效果。由于是靠純物理撞擊方式剝離污染物，此方法適合對(duì)各類污染物進(jìn)行去除。

等離子清洗原理示意圖

反應(yīng)性氣體等離子清洗

在真空狀態(tài)下，高頻電源的高壓交變電場(chǎng)將氧氣、氫氣等反應(yīng)性氣體電離成高能量和高反應(yīng)性的等離子氣體。這些高活性基團(tuán)被吸附在工件表面，與表面污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生產(chǎn)其他氣體并脫離工件表面，隨排氣系統(tǒng)排出。O2適合對(duì)助焊劑等有機(jī)類污染物進(jìn)行處理，H2適合處理金屬氧化物。

等離子清洗機(jī)氬氣和氧氣的區(qū)別

相信通過(guò)以上講解，大家都對(duì)等離子清洗機(jī)所使用的氣體有了一個(gè)大致了解，接下來(lái)對(duì)等離子清洗氬氣和氧氣的區(qū)別就很明了了，氬氣屬于惰性氣體，一般在清洗中承擔(dān)物理轟擊的作用，氧氣屬于反應(yīng)性氣體，在清洗中承擔(dān)著化學(xué)反應(yīng)的作用。

等離子清洗機(jī)氬氣和氧氣哪種氣體好

等離子清洗工藝中，氬氣和氧氣兩種氣體作用是不一樣的，并沒(méi)有說(shuō)哪種氣體好這種說(shuō)法，對(duì)應(yīng)不同的工藝要選擇最適合它的氣體，大部分情況下氧氣和氬氣是同時(shí)使用的，這樣清洗效果會(huì)更快也更好。

采用等離子清洗工藝時(shí)應(yīng)對(duì)等離子清洗原理有一個(gè)大致了解，這樣在選擇工藝氣體時(shí)才不會(huì)無(wú)所適從，不知道選擇哪種好。