等離子體處理（清洗）失效原因分析

關(guān)于等離子處理失效的原因，研究認(rèn)為，可以用兩個(gè)模型來(lái)解釋等離子處理效果失效的原因，分別是極性基團(tuán)翻轉(zhuǎn)模型和等離子體清理模型。前者是等離子體處理后在材料表面引入大量極性基團(tuán)，而這些極性基團(tuán)具有不穩(wěn)定性，隨著時(shí)間的推移會(huì)向材料內(nèi)部翻轉(zhuǎn)，導(dǎo)致表面極性基團(tuán)數(shù)量減少，產(chǎn)生時(shí)效性；后者主要針對(duì)表面沒(méi)有極性基團(tuán)的材料，等離子體處理主要是對(duì)材料表面進(jìn)行去污，從而提高表面能，改善材料表面性能，但隨著時(shí)間的推移，材料表面會(huì)重新被污染，表面性能降低。