Nordson March AP600等離子清洗機(jī)產(chǎn)品介紹

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2023-06-12

Nordson-March是一家領(lǐng)先的高科技公司，專注于為全球電子、醫(yī)療、航空航天和國(guó)防行業(yè)提供革命性的等離子技術(shù)解決方案。其中，AP600是Nordson-March公司生產(chǎn)的一款高效的等離子清洗機(jī)，下面介紹一下它的特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)。

AP600等離子清洗機(jī)是美國(guó)Nordson-March公司生產(chǎn)的儀器，如圖1.1（a）所示。AP600主要進(jìn)行等離子體清洗、材料表面活化及改進(jìn)材料表面的附著力的功能，應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、微電子封裝和生命科學(xué)設(shè)備等方面。它由13.56MHz射頻電源發(fā)生器、電子控制系統(tǒng)、自動(dòng)匹配系統(tǒng)和等離子體放電腔體四部分構(gòu)成。外接真空泵系統(tǒng)可通入不同氣體，例如氬氣、氧氣、及氟化氣體等。放電腔體的兩側(cè)壁有7個(gè)可調(diào)節(jié)極板間距的支架可用于放置極板，相鄰兩個(gè)支架之間的間距為2.54cm（1inch）。其中正極板的尺寸為330mm*330mm，負(fù)極板與放電腔體的側(cè)壁相接觸，其尺寸為368mm*340mm。

Nordson March AP600等離子清洗機(jī)

同時(shí)AP600等離子清洗機(jī)放電參數(shù)的設(shè)定可以直接在操作面板上操作，包括放電功率、氣壓、流量、放電時(shí)間的設(shè)定，而且放電腔體內(nèi)的反射功率也會(huì)在面板上顯示，可以直觀地反映放電腔體內(nèi)放電狀況是否正常。若反射功率為零時(shí)，說(shuō)明與射頻電源能很好的匹配；若反射功率超過(guò)10則需要調(diào)節(jié)匹配電容，以保證腔體內(nèi)等離子體的正常放電。

AP600等離子清洗機(jī)具有以下優(yōu)點(diǎn)：
1.高效清洗能力。AP600等離子清洗機(jī)通過(guò)低溫、低壓等離子技術(shù)，能夠去除各種雜質(zhì)和污垢，使清洗效果更加徹底，在完成去污的同時(shí)可以提高產(chǎn)品表面親水型。
2.適用性廣泛。AP600等離子清洗機(jī)對(duì)清洗材料性質(zhì)沒有要求，無(wú)論是金屬還是非金屬都能處理?？梢造`活應(yīng)對(duì)不同材料和清洗要求。
3.精確的控制系統(tǒng)。AP600清洗機(jī)采用先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)和觸摸屏界面，能夠?qū)崿F(xiàn)精確控制和監(jiān)控清洗過(guò)程，保障清洗質(zhì)量和安全性。
4. 節(jié)能環(huán)保。該清洗機(jī)采用低溫、低壓等離子技術(shù)，不會(huì)產(chǎn)生有害氣體和廢水，同時(shí)也能夠節(jié)約能源和成本，符合環(huán)保需求。
5. AP600采用容性耦合等離子體（CCP）產(chǎn)生方式，具有放電空間大、等離子體產(chǎn)生均勻、可控性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。

AP600等離子清洗機(jī)常見應(yīng)用舉例 :
1. 清洗：去除納米級(jí)的殘留物；加強(qiáng)打線鍵合前的粘著性。
2. 滅菌處理：去除表面殘留微生物。
3. 表面改性：在材料表面產(chǎn)生官能分子。
4. 活化：渲染表面的親水性或疏水性；鍵合和沉積前的表面預(yù)處理。
5. 聚合處理：沉積帶官能分子團(tuán)的聚合物；等離子活化表面；移植聚合物到活化后的材料表面。