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等離子清洗機(jī)分類

文章出處:等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間:2022-05-07
等離子清洗機(jī)分類形式有很多種,不過等離子清洗機(jī)的主要原理都是利用清洗時高能電子碰撞反應(yīng)氣體分子,使之離解或電離,利用產(chǎn)生的多種粒子轟擊被清洗表面或與清洗表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而有效地清除各種污染物。下面就讓我們一起來簡單了解下等離子清洗機(jī)的分類吧。

按照等離子體的產(chǎn)生環(huán)境分類


一般我們來說按照等離子體產(chǎn)生的環(huán)境可以分為真空等離子清洗機(jī),和常壓等離子清洗機(jī)兩大類,這也是市面上比較常見的分法。真空等離子清洗機(jī)與常壓等離子清洗機(jī)一般情況,氣體放電產(chǎn)生等離子體,只能在很低的壓強(qiáng)甚至是真空中產(chǎn)生并穩(wěn)定存在,因此低壓等離子體必須要具備抽真空的設(shè)備。真空等離子清洗機(jī)的優(yōu)勢有以下方面,所需要的擊穿電壓低;狀態(tài)穩(wěn)定;電子溫度為中性溫度;離子濃度和自由基濃度相對較髙,有效的與物體發(fā)生聚合或刻蝕反應(yīng);氣體量增大的條件下也能產(chǎn)生穩(wěn)定的輝光放電。但真空等離子清洗機(jī)存在著以下一些缺點:真空設(shè)備造價很貴,維護(hù)成本高。在生產(chǎn)過程中要頻繁的進(jìn)行抽真空,而且腔室受限制,不能進(jìn)行在線連續(xù)處理,這些都為等離子體技術(shù)在更多的領(lǐng)域及相關(guān)產(chǎn)業(yè)應(yīng)用帶來限制。常壓等離子清洗機(jī)彌補了真空等離子清洗機(jī)的不足。無需真空操作,可以很方便的整合到已有的產(chǎn)線上對材料進(jìn)行在線處理。

在線式等離子清洗機(jī)與離線式等離子清洗機(jī)


按照是否在線又可以分為批量離線式等離子清洗機(jī),和在線式等離子清洗機(jī)。隨著等離子清洗技術(shù)的大量運用,不同行業(yè)對等離子清洗機(jī)的需求程度不一樣,促使以前離線式的真空等離子清洗機(jī)不在能滿足企業(yè)的生產(chǎn)需求,因此在線式真空等離子清洗機(jī)便應(yīng)用而生。

批量式等離子清洗機(jī)的主要結(jié)構(gòu)包括:反應(yīng)倉、殼體、控制系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電源以及真空系統(tǒng)等。在線式等離子清洗機(jī)的主要結(jié)構(gòu)包括:上下料推料機(jī)構(gòu)、上下料置取料平臺、上下料提升系統(tǒng)、上下料傳輸系統(tǒng)、上下料撥料機(jī)構(gòu)、反應(yīng)倉、設(shè)備主體框架和電氣控制系統(tǒng)等。在線式等離子清洗機(jī)是在批量式等離子清洗機(jī)的基礎(chǔ)上為了盡量減少生產(chǎn)工藝中的人工參與而設(shè)計的一種設(shè)備,主要針對集成電路IC封裝工藝中引線鍵合前進(jìn)行引線框架芯片、基板的等離子清洗,徹底去除其表面的氧化物、微顆粒污染物,達(dá)到改善材料表面性質(zhì),提高引線鍵合強(qiáng)度,降低焊不上、虛焊的可能性。

除了真空等離子清洗機(jī)有在線和離線之分,常壓等離子清洗機(jī)也有在線離線的說法,其實都只是在等離子清洗機(jī)的基礎(chǔ)上增加了自動化的功能。


按照等離子體的激發(fā)頻率分類


等離子清洗機(jī)根據(jù)等離子體激發(fā)頻率的不同又可以分為,中頻等離子清洗機(jī),射頻等離子清洗機(jī),微波等離子清洗機(jī)。常見的產(chǎn)生等離子的方式分為三種:(1)中頻等離子體;(2)射頻等離子體;(3)微波等離子體。這是根據(jù)產(chǎn)生等離子體的發(fā)生頻率來分,中頻等離子體為40kHz,射頻等離子體為13.56MHz,微波等離子體為2.45GHz。這其中中頻等離子體和射頻等離子體為電場產(chǎn)生等離子的方式,微波等離子體為磁場產(chǎn)生等離子體的方式。激發(fā)頻率40kHz的等離子體為超聲等離子,發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng),清洗系統(tǒng)離子密度較低;13.56MHz的等離子體為射頻等離子體,等離子體發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng),離子密度和能量較高;2.45GHz的等離子體為微波等離子體,離子濃度最高,反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)。

另外還有一些其他的等離子清洗機(jī)分類,例如常壓等離子清洗機(jī),又可以分為直噴等離子清洗機(jī),旋噴等離子清洗機(jī),還有寬幅等離子清洗機(jī)。真空等離子清洗機(jī)又可以分為,真空卷對卷等離子清洗機(jī),真空滾筒等離子清洗機(jī)等,這都是按照等離子清洗機(jī)的不同應(yīng)用來進(jìn)行分類的,還可以按照腔體的材質(zhì)不同分為,不銹鋼腔體等離子清洗機(jī),鋁腔體等離子清洗機(jī),石英玻璃等離子清洗機(jī)等等。


其他分類方法


等離子清洗機(jī)之所以有這么多分類,是等離子清洗機(jī)廠家針對不同的用戶需求,設(shè)計制造了許多種不同結(jié)構(gòu)類型、不同電源頻率的等離子清洗機(jī)。各有所長,也就各有所短。選用等離子清洗設(shè)備前要搞清楚待清洗工件特征,要清除掉的沾污物是什么,待清洗工件在清洗過程中應(yīng)避免什么,是高溫、晶格損傷、靜電損傷還是二次污染等,通過試驗結(jié)果確認(rèn)、選購滿足不同工件對等離子清洗不同要求的設(shè)備。
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