5L中頻等離子清洗機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)：NE-PE05
性能特點(diǎn)：體積小巧操作簡(jiǎn)單
產(chǎn)品用途：科研實(shí)驗(yàn)，材料表面活化改性

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產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品參數(shù)

小型等離子清洗機(jī)可應(yīng)用于多種材料，包括金屬、陶瓷、復(fù)合材料、塑料、聚合物和生物材料表面處理。包括材料表面清潔、表面活化、表面能改變、用于粘合和粘附的表面制備、表面化學(xué)改性，以及通過(guò)活化對(duì)聚合物和生物材料進(jìn)行表面處理、接枝和表面涂層。

小型等離子清洗機(jī)原理：

小型等離子清洗機(jī)的清洗原理是在真空狀態(tài)下,壓力越來(lái)越小,分子間間距越來(lái)越大,分子間力越來(lái)越小,利用射頻源產(chǎn)生的高壓交變電場(chǎng)將氧、氬、氫等工藝氣體震蕩成具有高反應(yīng)活性或高能量的離子,然后與有機(jī)污染物及微顆粒污染物反應(yīng)或碰撞形成揮發(fā)性物質(zhì),然后由工作氣體流及真空泵將這些揮發(fā)性物質(zhì)清除出去,從而達(dá)到表面清潔活化的目的。

小型等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：

　●產(chǎn)品體積小，精度高，實(shí)用，操作簡(jiǎn)單，容易維護(hù)。
　●寬泛的參數(shù)調(diào)節(jié)范圍，可以使用多種工藝氣體，實(shí)現(xiàn)最大范圍的參數(shù)選擇。
　●采用優(yōu)化的集成PLC工藝控制系統(tǒng)，特別適合研發(fā)和小批量生產(chǎn)領(lǐng)域的需求。
　●內(nèi)置兩路氣路，氣體流量可調(diào)，無(wú)需再搭配氣體混合儀
　●專(zhuān)利軟件、操作簡(jiǎn)易，智能化設(shè)計(jì)，避免誤操作
　●采用數(shù)字顯示壓力，實(shí)時(shí)觀察腔體壓力變化情況
　●中英文操作系統(tǒng)，觸摸屏控制，人機(jī)界面友好電流、電壓實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，確保儀器穩(wěn)定安全運(yùn)行
　●清洗時(shí)長(zhǎng)可在觸摸屏設(shè)置，等離子處理時(shí)間精確到秒（s）
　●清洗功率0-100%無(wú)極可調(diào)
　●316不銹鋼腔體，低溫，不損傷樣品，腔體內(nèi)溫度小于60°

小型等離子清洗機(jī)產(chǎn)品應(yīng)用：

　●引線鍵合和封裝前的集成電路芯片清洗。
　●用于去除碳?xì)浠衔镂廴疚锏?TEM 和 SEM 樣品清洗。
　●等離子處理親水或疏水表面潤(rùn)濕性。
　●表面處理以提高環(huán)氧樹(shù)脂/膠水的粘合強(qiáng)度。
　●用于光學(xué)、激光和通信的玻璃和光纖頭清潔。
　●提高 MEMS 微流體器件的潤(rùn)濕性。
　●圖案化后的光刻膠灰化和除渣。

序號(hào)	項(xiàng)目	型號(hào)規(guī)格	參數(shù)
1	等離子發(fā)生器	功率	0-300W可調(diào)
		抗輻射干擾高頻匹配器	自動(dòng)阻抗匹配，遠(yuǎn)程通信控制
		頻率	40KHz
2	真空反應(yīng)腔室	腔體材質(zhì)	進(jìn)口 316 不銹鋼，軍工級(jí)密封
		腔體容積	5L
		電極數(shù)量	1 個(gè)鍍金鋁合金專(zhuān)用電極+1 個(gè)不銹鋼托盤(pán)
		腔體直徑（圓形）	Φ140×270（D）mm
		有效處理范圍	135（W）*250(D)mm
		絕緣陶瓷	進(jìn)口高頻陶瓷
3	氣路控制	氣體流量控制器	浮子針閥流量控制器， 0-500ML
3	氣路控制	氣路數(shù)量	2 路氣體通道，支持氧氣氬氣等
4	整機(jī)參數(shù)	整機(jī)功率	1000W
4	整機(jī)參數(shù)	外形尺寸	590mm(L)×565mm(W) ×470 mm(H)