項目 | 型號規(guī)格 | 參數(shù) |
等離子體發(fā)生器 | 功率 | 0-1000W可調(diào) |
頻率 | 40KHz/13.56MHz | |
抗輻射干擾高頻匹配器 | 自動抗阻匹配,遠程通信控制 | |
真空反應(yīng)腔室 | 腔體內(nèi)部尺寸 | 600*600*600(寬高深) |
材質(zhì) | 不銹鋼/鋁合金 | |
電極層數(shù) | 9層 | |
腔體容積 | 200L | |
工作托盤 | 標(biāo)配一套,材質(zhì)可選(鋁絲,鋼絲網(wǎng)) | |
電極板分布方式 | 平板電極,可靈活抽取 | |
控制系統(tǒng) | 系統(tǒng)控制 | PLC |
觸摸屏 | 七寸觸摸屏 | |
氣體系統(tǒng) | 氣體通道 | 標(biāo)配兩路可增加(氧氣、氬氣、氮氣等) |
氣體流量控制 | MFC氣體質(zhì)量流量計 | |
外觀參數(shù) | 外形尺寸 | 1350*1750*1200(寬*高*深) |